Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для контроля параметров наноструктур

11.11.2010

Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для контроля параметров наноструктур

А. Г. Турьянский, М. А. Кумахов, Н. Н. Герасименко, И. В. Пиршин, В. М. Сенков

Описан измерительный комплекс для исследования наноструктур на базе рентгеновского рефлектометра. Представленное оборудование отличается от приборов аналогичного назначения тем, что его запатентованная рентгенооптическая схема обеспечивает параллельные измерения данных на нескольких спектральных линиях.