Рефлектометрические исследования поверхности монокристаллического кремния и напыленной на нее нанопленки углерода

18.01.2011

Рефлектометрические исследования поверхности монокристаллического кремния и напыленной на нее нанопленки углерода

А. А. Кряжев
Институт геологии Коми НЦ УрО РАН, Сыктывкар, Россия

Пригодность современных кристаллических материалов для различных производственных нужд может в значительной степени зависеть от качества их приповерхностной области, поэтому изучение поверхностных изменений при различной технологической обработке играет важную роль в создании кристаллических материалов с заданными свойствами. Для этого требуются методы, надёжно регистрирующие и контролирующие поверхностные изменения получаемых материалов.