«Русская Ассоциация МЭМС» – шаг вперед на пути развития МЭМС-технологий в России

Денис Маратович Урманов,
исполнительный директор «Русской Ассоциации МЭМС»,
кандидат технических наук.

На современном этапе активного совершенствования микроэлектроники и нанотехнологий широкое распространение получило развитие микроэлектромеханических систем, которые более коротко принято называть МЭМС. Английским эквивалентом данного термина является сочетание «Micro Electro Mechanical Systems» (MEMS). Под этой аббревиатурой ученые и специалисты понимают миниатюрные системы, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты, созданные по технологии от 1 микрометра до 100 микрометров. Другими словами, это множество микроустройств самой разнообразной конструкции и назначения, которые производятся с использованием современных технологических приемов микроэлектроники.