Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Технологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)

....Тимошенков, Ю.А.Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур с использование... ... пластин предлагается использовать технологию отслаивания (отщепления) части рабочей пластины кремния по области пористого слоя, образованного посредством имплантации протоно...

Изменен: 05.12.2010
кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате