Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств

Аннотация доклада «Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств » на Второй ежегодной научно-технической конференции Нанотехнологического общества России «Перспективы развития в России НБИК-технологий как основного научного направления прорыва к шестому технологическому...

Изменен: 15.11.2010
конференция , нанотехнологическое общество , геттеры , нанопленочный , герметичные устройства , электроника , мембраны
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате