Поиск

Наноструктурные фильтрующие элементы для тонкой очистки жидкостей

... очистке жидких сред путем осаждения частиц эрозионной плазмы на пористые носители на сегодня и ближайшее десятилетие является прогрессивной технологией. В зависимости от состава плазмы и реакционного газа можно формировать ультратонкое наноструктурные мембраны с заданными функциональными свойствами (сорбционно - активные, каталитически - активные, низкая адгезия и др.). В. В. Григоров, П. Н. Мартынов, Р. Ш. Асхадуллин, Г. В. Григорьев, И. В. Ягодкин, С. С. Скворцов ФГУП «ГНЦ РФ – Физико-энергетический...

Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств

... устройства обладают множеством преимуществ, особенно благодаря миниатюрным размерам. Например, в пьезоэлектрическом МЭМС датчике давления в качестве чувствительного элемента используется обычно мембрана толщиной менее 10 мкм. При использовании тонкой мембраны снижение вакуума, вызванное проникновением газов, было бы более серьезным, чем у традиционных вакуумных электронных приборов. Проникновение газов через единицу площади за единицу времени в МЭМС гораздо выше, чем в традиционной конструкции. Например...

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате