Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств

... устройства обладают множеством преимуществ, особенно благодаря миниатюрным размерам. Например, в пьезоэлектрическом МЭМС датчике давления в качестве чувствительного элемента используется обычно мембрана толщиной менее 10 мкм. При использовании тонкой мембраны снижение вакуума, вызванное проникновением газов, было бы более серьезным, чем у традиционных вакуумных электронных приборов. Проникновение газов через единицу площади за единицу времени в МЭМС гораздо выше, чем в традиционной конструкции. Например...

Изменен: 15.11.2010
конференция , нанотехнологическое общество , геттеры , нанопленочный , герметичные устройства , электроника , мембраны
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате