Поиск

Послойный анализ углеводородных покрытий на основе спектроскопии отраженных электронов

... анализа слоев аморфного гидрогенизированного углерода, нанесенных на поверхность монокристаллического кремния. Эксперименты по осаждению проводились в генераторе плазмы с продольным магнитным полем PSI-2 (Max-Plank Institute of Plasma Physics, Germany). Кремниевые подложки закреплялись на охлаждаемом держателе, который устанавливался в центральной части камеры дрейфа длиной 1 м и диаметром 0.4 м. Во время разряда в аргоне на оси камеры формировался плазменный столб диаметром 6 – 8 см. Держатель располагался...

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате