|
РУС | ENG
| |
![]() |
|
![]() | ![]() |
ПоискТехнологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)....Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур... ... атомной промышленности) и солнечных батарей, а также материалов нано- и микроэлектроники использовался метод прямого соединения... Изменен: 05.12.2010кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |