|
РУС | ENG
| |
|
ПоискНекоторые альтернативы в наноэлектронике... С. Рудый 2 , А. Б. Чурилов 1 1 Ярославский филиал Физико-технологического института РАН 2 Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидов, Ярославль, Россия Стандартным материалом современной микро- и наноэлектроники безусловно является кремний. На его основе создаются различные микроэлектронные и микроэлектромеханические (МЭМС) компоненты, а также солнечные элементы, которые могут использоваться в качестве источников питания для устройств микроэлектроники и микромеханики. Основой структурного... Изменен: 11.01.2011наноэлектроника , кремний , микроэлектроника , микромеханика , солнечные элементы , нанотехнологии , полупроводник , альтернативные технологии Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Технологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)А.Л.Суворов, Б.Ю.Богданович, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, В.В.Калугин, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.А.Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур с использованием современных методов очистки поверхности и сращивания кремниевых пластин во влажных условиях, а также методов химической сборки поверхности и сращивания... Изменен: 05.12.2010кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |