|
РУС | ENG
| |
|
ПоискТвердые растворы на основе карбида кремния: технология и свойстваБ. А. Билалов НИИ «Микроэлектроники и нанотехнологий» при Дагестанском государственном техническом университете, Махачкала, Россия Известно, что на структуру и свойства полупроводниковых материалов очень сильно влияют технологические условия роста. Поэтому при выращивании образцов (SiC) 1-x (AlN) х были проведены исследования влияния различных технологических факторов на свойства растущих материалов. Прежде всего, было изучено влияние газовой атмосферы роста на параметры твердых растворов. Уст Изменен: 17.03.2011карбид , кремний , раствор , полупроводниковые материалы , наноэлектроника Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |