|
РУС | ENG
| |
|
ПоискРефлектометрические исследования поверхности монокристаллического кремния и напыленной на нее нанопленки углеродаА. А. Кряжев Институт геологии Коми НЦ УрО РАН, Сыктывкар, Россия Для диагностики поверхностных изменений используется метод рентгеновской рефлектометрии. Данный метод основан на явлении полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности исследуемого материала. С помощью него можно определить шероховатость поверхности, а также оценить физические и геометрические свойства приповерхностных слоёв, что может быть полезно в технологии создания полупроводниковых приборов, где широко использ Изменен: 18.01.2011исследование , кремний , нанопленка , рефлектометрия , диагностика , полупроводниковые , подложка , пленки Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Применение методов ядерного квадрупольного резонанса для исследования полупроводниковых наноматериаловО. Глотова, И. Корнева, Н. Синявский, К. Корнев В работе представлены данные исследования трех образцов трехкомпонентной системы As-Ge-Se методами 75 As ЯКР-спектроскопии. Эксперимент был выполнен на импульсном Фурье-ЯКР-спектрометре NQS-300 фирмы MBS ELECTRONICS (университет им. А. Мицкевича в Познани) с использованием двухимпульсной последовательности спинового эха Хана. Измерение спектров осуществлялось при 77 K, так как при этой температуре достигается оптимальное соотношение сигнал/шум. П Изменен: 24.11.2010наноматериалы , нанотехнологические , полупроводниковые , материалы , спектроскопия , халькогены Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |